DETAIL
 
拋光液系列產品
納米金剛石拋光液
1.應用領域
(1)半導體晶片拋光:單晶矽片、多晶矽片、藍寶石晶片、碳化矽晶片等;
(2)磁記錄材料拋光:電腦硬碟基片、電腦硬碟磁頭等。
2.產品規格
產品料號 外觀 載體類型
NDS/50 黑色懸浮液 水基
NDS/100 灰色懸浮液 水基
可根據客戶特殊要求進行定制。
3.產品特點
(1)獨特的超分散技術使產品具有良好的分散效果;
(2)可達到埃級表面加工效果。

氧化矽拋光液
1.應用領域
(1)半導體晶片加工:主要包括藍寶石襯底片、碳化矽晶片、藍寶石窗口片等;
(2)陶瓷材料加工:氧化鋯指紋識別片、氧化鋯陶瓷手機後殼及其它功能陶瓷;
(3)其他材料加工:光學玻璃、金屬材料、硬質合金等。
2.產品規格
產品料號 外觀 固含量(%wt) pH
SiOF/80 乳白色懸浮液 20-40 10-11
SiOF/100 乳白色懸浮液 20-40 10-11
可根據客戶特殊要求進行定制。
3.產品特點
(1)顆粒大小均一,拋光效率高;
(2)拋光後晶片表面粗糙度Ra<0.2nm。