DETAIL
 
拋光墊
多孔性對拋光液具有良好的儲存性能,保持拋光效率的穩定性。

產品特點:
(1)由聚氨酯樹脂發泡製成,具有較強的耐磨性和多孔性;
(2)耐磨性可使拋光墊持續保持優異的平坦度;
(3)多孔性對拋光液具有良好的儲存性能,保持拋光效率的穩定性。
可供規格:
產品料號 密度(LB/FT3) 硬度
SL-4387 68 SHORE D  69
LP-57C 33 SHORE A  88
SP-66C 28 SHORE D  36
注:
(1)開槽拋光墊最小厚度1mm;
(2)標準槽深為拋光墊厚度1/2;
(3)可以為客戶不同開槽要求定制。
應用領域:
廣泛用於碳化矽晶圓、藍寶石晶圓、矽晶圓、陶瓷材料、金屬及合金、 硬碟等產品的高速平面拋光。