多孔性對拋光液具有良好的儲存性能,保持拋光效率的穩定性。
(1)由聚氨酯樹脂發泡製成,具有較強的耐磨性和多孔性;
(2)耐磨性可使拋光墊持續保持優異的平坦度;
(3)多孔性對拋光液具有良好的儲存性能,保持拋光效率的穩定性。
可供規格:
| 產品料號 | 密度(LB/FT3) | 硬度 |
| SL-4387 | 68 | SHORE D 69 |
| LP-57C | 33 | SHORE A 88 |
| SP-66C | 28 | SHORE D 36 |
(1)開槽拋光墊最小厚度1mm;
(2)標準槽深為拋光墊厚度1/2;
(3)可以為客戶不同開槽要求定制。
應用領域:
廣泛用於碳化矽晶圓、藍寶石晶圓、矽晶圓、陶瓷材料、金屬及合金、 硬碟等產品的高速平面拋光。



