在半導體封裝中，陶瓷基板是指銅箔在高溫下直接鍵合到陶瓷基片表面(單面或雙面)上的特殊工藝板。種類主要包括氧化鈹(BeO)、氧化鋁(Al2O3)和氮化鋁(AlN)、氮化矽(Si3N4)。
特點：
1. 機械應力強，形狀穩定；
2. 極好的熱迴圈性能， 迴圈次數達55萬次，可靠性高；
3. 與 PCB 板( ( 或 IMS 基片) ) 一樣可刻蝕出各種圖形的結構；
4. 無污染、無公害；
5. 使用溫度寬-55℃～850℃；
6. 熱膨脹係數接近矽，簡化功率模組的生產工藝。
加工流程：
陶瓷基板粗磨加工效果
| 鑽石墊規格 | 陶瓷專用粗磨鑽石墊 |
| 加工結果 | 加工資料 |
| 去除率（um/min） | 10-15 |
| 粗糙度Ra（um） | <0.6 |
| 鑽石墊規格 | 陶瓷專用粗磨鑽石墊 |
| 加工結果 | 加工資料 |
| 去除率（um/min） | 7-10 |
| 粗糙度Ra（um） |